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The innovation in the preparation of catalyst and nano or nano-structured materials plays more and more important role.I......
给出了圆筒形微空心阴极的3维流体方程组及其稳态的差分方程和合理的边界条件,并利用计算机模拟计算,得出了He放电形成的粒子密度......
利用流体模型对ArF准分子激光气体放电过程进行了数值模拟,通过对比不同初始预电离强度下的气体放电情况,分析了预电离效应对准分子......
本文建立了不考虑电压上升时间的均匀脉冲放电预电离条件,所得结果和前人的实验数据符合较好,修正了前人的研究成果。......
使用氦气放电增强准分子激光溅射反应沉积AlN薄膜,讨论了脉冲能度,氮气放电基底温度等因素对膜的性能的影响,实验结果发现,当DE=1.0J.cm^-2,Pn2=100×133.33Pa,Taub=200℃,V=650V,f=5Hz,ds-T=4cm时,高......